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時轉科技有限公司
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永久 / 混合鍵合設備

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永久 / 混合鍵合設備主要用於晶圓級堆疊、3D IC、SiP、HBM、SoIC、CIS、MEMS 與異質整合製程。相較於臨時鍵合,永久鍵合與混合鍵合的目的不是提供後續加工支撐,而是讓兩片晶圓、晶片或材料層形成長期穩定的結構連接、電氣連接或密封介面。
 

永久鍵合可依材料與應用需求,採用熱壓鍵合、熔融鍵合、陽極鍵合、共晶鍵合或黏著鍵合等方式,重點在於鍵合強度、平面度控制、溫度與壓力均勻性,以及多層堆疊後的結構可靠性。混合鍵合則進一步結合金屬與介電質界面,透過表面活化、精密對準與低污染製程,支援高密度互連與先進封裝需求。
 

時轉科技提供 WT-WIBP 永久鍵合系列與 WT-WIBH 混合鍵合系列,可依照 wafer size、bonding temperature、bonding force、vacuum level、alignment accuracy 與 plasma activation 需求進行配置,協助客戶導入 3D IC、HBM、SoIC、CIS、MEMS 與高階異質整合製程。

永久鍵合設備

永久鍵合設備

永久鍵合設備支援熱壓、熔融、陽極、共晶與黏著鍵合,適用 3D IC、SiP、CIS、MEMS 與晶圓級堆疊製程。
混合鍵合設備

混合鍵合設備

混合鍵合設備用於 HBM、SoIC、3D IC 與高密度異質整合,支援 Cu-Cu 與介電質同步鍵合製程。

時轉科技有限公司

  • 公司電話:03-5601988
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