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時轉科技有限公司
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臨時鍵合設備

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臨時鍵合設備主要用於晶圓薄化、背面製程與先進封裝製程中的暫時性支撐。透過將 device wafer 與 carrier 暫時鍵合,可降低超薄晶圓在研磨、CMP、PVD、CVD、蝕刻、金屬化或後續搬運過程中的破片與翹曲風險。
 

時轉科技提供熱固化與光固化兩種臨時鍵合方案。熱固化臨時鍵合適合 CoWoS、HBM、TSV、2.5D / 3D IC 等長流程先進封裝應用,重點在於耐熱性、低 TTV、低位移與長時間製程支撐。光固化臨時鍵合則適合 IGBT、MOSFET、Power IC、SiC 等功率元件背面製程,重點在於低壓貼合、UV 快速固化與後續低損傷解鍵合。
 

依照晶圓尺寸、膠材系統、後續製程溫度與解鍵合方式,可選擇 WT-WIBT 熱固化系列或 WT-WIBU 光固化系列設備,搭配對應的雷射、熱滑移或撕膜解鍵合方案,形成完整的 temporary bonding and debonding 製程平台。

熱固化臨時鍵合設備
熱固化臨時鍵合設備

熱固化臨時鍵合設備

熱固化臨時鍵合設備適用 CoWoS、HBM、TSV、SiC / GaN 與晶圓薄化製程,提供長流程中的穩定支撐。
光固化臨時鍵合設備
光固化臨時鍵合設備

光固化臨時鍵合設備

光固化臨時鍵合設備採用 UV 365 / 405 nm 固化,適用 IGBT、MOSFET、Power IC、SiC 等功率元件背面製程。

時轉科技有限公司

  • 公司電話:03-5601988
  • 公司傳真:03-5601658
  • 服務時間:09:00-18:00(週一至週五)
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